射频（小型）等离子清洗机的作用：

1.清洗:去除表面灰尘和油污，精密清洗

2.活化:增加表面极性，提高表面能，大幅度提高表面的润湿性能

3.接枝:产生新的活性基团，形成新的表面特性，达到牢固结合的目的

4.提高各种材料之间粘结的可靠性和持久性

5.提高各种材料表面涂装的附着能力、渗透能力

6.等离子晶圆除胶，表面蚀刻

设备特点：

进口铝合金/不锈钢316材质真空腔体：军工级别密封，避免气体泄露，又实现高效卓越的真空度，为等离子体创造极佳的反应条件。 

采用进口品牌技术等离子射频电源13.56Mhz，确保高能量，高 密度，均匀等离子体产生，确保出众的表面处理效果。 

真空系统\双组真空泵组，真空专用电磁阀、挡板阀、不锈钢真空波 纹管；耐高温、抗氧化、无排放污染，泵具有可自行缓解温度过高的 散热体系，无需水冷。 

气体流量采用专用流量控制器控制，保证设备低泄露率及高精度流 量调节。 

独有放电技术，特殊处理及特殊结构的放电装置，保障高耐用性和 安全性。 

电极系统，多层电极隔板设计：结构对称损耗小，该设计对等离子激发空间均匀性大大改善，在同一平面上等离子刻蚀清洗的速率更加 一致，控制电力参数由系统结构设计获得，能很好的控制电极的温度 均一性，使电极对等离子的可控性大大提高，同时使电极间空间利用 率达到最大。

自主研发等离子体控制系统: 可根据腔体环境精准控制等离子体发 生时间和反应强度， 可进行多步工艺流程处理，采用施耐德等进口品牌电器元件, 有手动、自动两种控制模式，7寸触摸屏，可编程控制器， 可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功 率等工艺参数。 

强大的全面安全防护系统：漏电防护功能，过载防护功能，短路断 路防护功能，非法操作提示、清洁结束提示，各种误操作保护功能等。 

处理全程无污染 ，等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何 污染，处理过程也无产生任何污染。

可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。 设备适用清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，全方位均匀清 洗。设备操作简单，整机程序自动化，一个操作员即可。

射频等离子为低温精密表面处理工艺，主打纳米级清洗、活化、改性、微刻蚀，适配高精度洁净零部件，覆盖八大领域：1.半导体微电子：晶圆、芯片封装、IC 载板、MEMS、PCB 微孔除残胶、焊盘活化，提升焊接镀膜良率；2.光电显示：LED、Mini/Micro LED、液晶面板、光学镜头镀膜前清洗，防止脱膜瑕疵；3.医疗器械：钛合金植入件、PTFE 导管、微流控芯片，提升生物相容性与涂层附着力；4.新能源：锂电池隔膜、铝塑膜、光伏硅片、燃料电池极板改性，优化浸润与导电性能；5.汽车电子：IGBT 功率器件、车载传感器、车灯、连接器清洁活化，保障车载可靠性；6.光学陶瓷：蓝宝石、石英镜片、陶瓷基板金属化预处理；7.航空军工：精密连接器、航天复合材料粘接前处理，适配极端工况；8.科研实验室：纳米材料、微纳加工、高分子改性研发试样处理。