清洗作用：

• 去除表面污染物：在 OLED 制造过程中，玻璃基板、电极等部件表面可能会有灰尘、油污、有机物残留等污染物。普雷斯等离子表面处理机通过产生等离子体，利用等离子体中的高能粒子撞击表面，可有效去除这些污染物，提高表面清洁度。例如，在蒸镀有机材料之前，对玻璃基板进行等离子清洗，能防止污染物影响有机材料的生长和发光性能，提高 OLED 器件的发光均匀性和稳定性。

• 改善表面亲水性：经过等离子处理后，基板表面的亲水性得到增强。这有利于后续光刻胶的均匀涂覆以及有机材料溶液的铺展，使成膜更加均匀，减少缺陷。比如，在进行光刻工艺时，亲水性好的表面能使光刻胶更好地附着，提高光刻图案的精度，进而提升 OLED 像素的制作精度。

表面改性作用

• 提高表面能：等离子体与材料表面相互作用，可引入极性基团，增加表面能。对于 OLED 中的有机材料，较高的表面能有助于其在基板上的沉积和生长，使有机层与基板之间的结合力更强，减少界面处的缺陷和空洞，提高器件的可靠性和寿命。

• 激活表面化学键：等离子处理可以激活基板表面的化学键，使其更容易与有机材料发生化学反应或形成化学键合。在 OLED 封装过程中，通过等离子处理封装材料和基板表面，能增强两者之间的结合力，提高封装的密封性，防止水汽和氧气进入器件内部，从而延长 OLED 的使用寿命。

处理效果优势

• 高精度处理：普雷斯等离子表面处理机可以实现对 OLED 器件的高精度处理，能够精确控制处理区域和处理程度。例如，在对 OLED 像素进行局部处理时，能够准确地作用于目标区域，而不影响周围的其他像素，确保了器件的高分辨率和高性能。

• 低温处理：等离子处理过程通常在较低温度下进行，这对于 OLED 这种对温度敏感的材料非常重要。低温处理可以避免高温对有机材料性能的损害，保持有机材料的发光特性，同时也有助于减少对基板和其他器件结构的热影响，提高整个器件的稳定性和一致性。

提高生产效率

• 可在线集成：普雷斯等离子表面处理机可以很方便地集成到 OLED 生产线中，实现自动化连续处理。例如，在基板传输过程中，设置等离子处理工位，对基板进行实时处理，无需额外的离线处理步骤，大大提高了生产效率，降低了生产成本。

• 处理速度快：等离子处理速度快，能够在短时间内完成对大量基板或器件的处理。对于大规模生产的 OLED 企业来说，这有助于提高产能，满足市场对 OLED 产品日益增长的需求。

  因此，普雷斯等离子表面处理机在OLED行业有着大量的应用实例，为光电行业提供了高度的赋能。