等离子表面处理机对人体的危害，主要是臭氧危害，臭氧是氧气的同素异构体，在室温下呈现出淡蓝色，有刺激性气味，且因其在常温的情况下容易分解为氧气，具有不稳定性质，因此不能很好的运输和储存。分布在大气平流层中的臭氧在强紫外光辐射下产生，能够有效的阻挡太阳辐射，但是分布于近地面的臭氧，则主要是由于工业生产以及人类活动等产生，当浓度超过一定限度时，对人体极为有害。

     等离子表面处理机放电反应中包括很多过程，例如氧原子的产生、臭氧分子产生、臭氧分子的分解等。将氧气当成是气源，在放电等离子体环境中，臭氧的化学合成反应并不简单，其与很多基元反应密切相关，这些反应对臭氧的产生有着积极的作用，一些反应与臭氧分解是密切相关的。对于臭氧来说，它是氧分子和氧原子相互碰撞形成的，所以，氧原子的产生是臭氧分子合成的基础，针对臭氧发生来说，是十分关键的。

• 刺激呼吸道：臭氧具有强氧化性，吸入后会刺激呼吸道黏膜，引发咳嗽、气喘、胸闷等症状。长期暴露在高浓度臭氧环境中，可能导致呼吸道炎症，使呼吸道的防御功能降低，增加呼吸道感染的风险。

• 损伤肺部：臭氧能够进入肺泡并在那里发生反应，对肺泡壁造成损伤，影响肺部的气体交换功能。长期接触可能导致肺功能下降，引发肺气肿、支气管炎等肺部疾病。对于患有哮喘、慢性阻塞性肺疾病等呼吸系统疾病的人，臭氧的危害更为严重，可能会加重病情，甚至引发急性发作。

• 其他危害：高浓度的臭氧还可能对眼睛造成刺激，引起眼睛疼痛、流泪、视力模糊等症状。此外，臭氧还会与人体皮肤中的油脂等物质发生反应，对皮肤产生刺激和损害。