微波等离子清洗机和真空等离子清洗机有以下区别：

工作原理

微波等离子清洗机：利用微波场将气体电离形成等离子体，采用 2.45GHz 频率电源，离子浓度比射频等离子浓度高，能产生更多等离子体，反应速度更快。其自偏压很低，只有几十伏，发生的反应以化学反应为主。

真空等离子清洗机：通常在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序等离子体。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污、氧化物、灰化表面有机物等清洗和刻蚀效果。

设备结构

微波等离子清洗机：一般由微波电源、微波传输系统、等离子体发生腔、气体供应系统等组成。微波电源产生微波能量，通过微波传输系统将能量传输到等离子体发生腔，在腔内形成微波场，使气体电离产生等离子体。

真空等离子清洗机：由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体等几个部分组成。真空发生系统用于抽取真空腔体内的气体，形成真空环境；电气控制系统用于控制设备的运行参数，如电源功率、频率、清洗时间等；等离子发生器产生等离子体；真空腔体是放置被清洗物体的空间，提供真空密闭环境。

清洗效果

微波等离子清洗机：清洗效果好，能有效去除表面的有机污染物、氧化物和颗粒，并在表面形成一层致密的氧化层，可提高产品的性能和可靠性，适用于对清洗要求较高的场合，如半导体、生物医疗等行业。由于离子浓度高，反应速度快，对于一些难清洗的污染物可能具有更好的去除效果。

真空等离子清洗机：同样具有良好的清洗效果，能够去除表面的油污、有机物、氧化物等污染物，并且可以对表面进行活化处理，提高表面的润湿性和粘附性。适用于各种材料的表面处理，包括金属、塑料、陶瓷、玻璃等，在汽车电子、军工电子、PCB 制造等行业有广泛应用。

应用场景

微波等离子清洗机：除了半导体、生物医疗等行业，还可用于一些对清洗精度和效率要求较高的领域，如高端电子器件制造、光学元件制造等。例如，在制造高精度的芯片时，需要对芯片表面进行精细清洗，微波等离子清洗机能够快速、高效地去除表面杂质，同时保证芯片表面的性能不受影响。

真空等离子清洗机：在对环境要求较高的精密仪器制造、航空航天等领域应用广泛。例如，航空航天电连接器的绝缘体与封线体之间的粘接前处理，通过真空等离子清洗可以去除表面油污，增强表面活性，提高粘接效果，保证电连接器在苛刻的太空环境下能够可靠工作。

成本

微波等离子清洗机：由于微波电源等部件成本较高，其设备价格相对较高。同时，运行过程中对微波功率的控制和维护要求较高，运行成本也相对较高。

真空等离子清洗机：设备成本主要集中在真空系统和等离子发生器等部件上。虽然真空系统的维护也需要一定成本，但总体来说，其成本相对微波等离子清洗机可能较低一些，具体成本还取决于设备的规格和性能要求。