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真空等离子清洗机腔体电极结构对清洗效果的影响真空等离子清洗机清洗效果会因电极布局不同而有着明显差别，主要影响因素有电极选用材质、正负极板布局和腔体尺寸大小等。对于电极内嵌等离子清洗系统，电极完全暴露在等离子体区内，而有些材质的电极会被一些等离子体局部刻蚀或产生溅射现象，导致不必要的污染，还可能引起电极尺寸的微观变化，进而降低等离子清洗系统的稳定性。等离子清洗速度和均一性受电极正负极板布局影响较大; 通过缩短电极间距的方式来快速获取等离子清洗，限制等离子体区域从而得到浓度很高的等离子体。电极间距增加后清洗速度开始下降但均匀性渐渐增强，通常电极尺寸会限制等离子真空腔体的整体容量，在采用平行电极布局的等离子清洗设备内，电极一般是作为料盒托架，大尺寸的电极单次能够清洗的产品也比较多，可大大提高设备的运行效率。而在采用垂直电极布局的等离子清洗设备内，电极间距和电极深度约定了真空腔体的整体容量。
电极本身材质也会受到等离子体的影响，应当通过改变电极间距来适应等离子体特性的各种需求，在满足工艺条件的情况下最大化料盒托盘使用面积。电极板主体由铝板制作而成，外表作绝缘涂镀处理，通过铝板上电极端子与电源正极或负极接通，电极板可采取平行或垂直方式安装于真空反应腔体，电极板的极性与电极间距可按照不同应用需求进行选择，便于激发出符合应用要求的等离子体，也可以适当改变真空腔体的尺寸来增加料盒托盘的数量和长宽深等尺寸，提高清洗设备的利用率。 |
